小部件有大學(xué)問
2019-03-19 09:31:19
從智能手機(jī)到產(chǎn)業(yè)機(jī)器人，再到超級計(jì)算機(jī)，隨著應(yīng)用范圍不斷增加，半導(dǎo)體行業(yè)在蓬勃發(fā)展的同時，其制程工藝也不斷快速提升。然而，無論工藝如何改進(jìn)，都離不開鹽酸、氫氧化鈉溶液、過氧化氫溶液，以及乙醇，丙酮等各類高純度化學(xué)品的使用。
這些高純度化學(xué)品具有強(qiáng)酸、強(qiáng)腐蝕性等特性，在其輸送系統(tǒng)原材料的選擇上，必須慎之又慎。PFA和PTFE因擁有出色的物化性能而進(jìn)入人們的視野，它們具有抗酸抗堿、抗各種有機(jī)溶劑、耐腐蝕等特點(diǎn)，被視為半導(dǎo)體制程中化學(xué)品輸送系統(tǒng)的理想材料。
例如，在半導(dǎo)體的CMP工藝中，Slurry輸送系統(tǒng)的部件就可選用PFA材質(zhì)。CMP又稱化學(xué)機(jī)械拋光，它能精確并均勻地把硅片拋光為需要的厚度和平坦度，其中，Slurry供應(yīng)系統(tǒng)與之關(guān)系密切。作為一種特殊的化學(xué)研磨液，Slurry是由二氧化硅等微小顆粒懸浮在液體中形成的懸浮液，其供應(yīng)系統(tǒng)將持續(xù)為CMP提供制程所需的化學(xué)研磨液，一旦系統(tǒng)出現(xiàn)異常，會對CMP制程造成嚴(yán)重?fù)p失。
因此，Slurry輸送系統(tǒng)對閥門的選用要求嚴(yán)格。比市場上同類產(chǎn)品相比，派克漢尼汾旗下的 22系列PFA膜閥，能更好地符合用戶需求。
雙密封點(diǎn)
Slurry有易結(jié)晶的特性，一旦在閥座密封處形成結(jié)晶，就會影響閥門的關(guān)閉功能，造成泄漏故障。因此，22系列膜閥采用膜片密封形狀設(shè)計(jì)，形成雙密封點(diǎn)，能有效控制這類故障。在閥門關(guān)閉時的應(yīng)力測試圖中，可以觀察到雙密封點(diǎn)，如果其中一處密封點(diǎn)失效，另一處密封點(diǎn)還將繼續(xù)工作，從而提高閥門的工作壽命。第三方的測試數(shù)據(jù)也很好地證明了這一點(diǎn)：在輸送鹽酸和硫酸時，工作壽命超過210萬次；輸送純水時，超過300萬次；輸送Slurry時，雙密封點(diǎn)的效果明顯，在系統(tǒng)無故障的條件下，工作壽命超過210萬次。
滑梯狀流道
目前市場上應(yīng)用于Slurry閥門多數(shù)采用內(nèi)部無死角的自排放結(jié)構(gòu)，使閥門在不使用時能夠排空。22系列膜閥采用滑梯狀流道設(shè)計(jì)，一定程度上減少了流體在閥門內(nèi)部的停留時間，同時減小流體對閥體不同部位的應(yīng)力差，從而有效延長閥體的壽命。
派克漢尼汾旗下的22系列PFA膜閥設(shè)計(jì)巧妙，質(zhì)量卓越，能夠符合半導(dǎo)體制程中化學(xué)品、尤其是Slurry輸送的不同要求，更少的故障以及更長的產(chǎn)品壽命將為客戶帶來更多的價值。
